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精确的压力控制能改善真空镀膜效果

艾里卡特MCE系列和MCV系列直接替代通用型工业用质量流量控制器。

MCE系列和MCV系列质量流量控制器可用来替换传统和已停产的MKS设备。MCE系列和MCV系列产品按照通用的工业用质量流量控制器尺寸设计,易于集成在现有系统中。在使用中,MCE系列和MCV系列质量流量控制器可快速、精确地控制流量,从而保障工艺均匀性和工序质量。

艾里卡特MCE系列和MCV系列质量流量控制器以50~100毫秒的控制响应速度精确地控制气体流量,量程范围为0-0.5 sccm(满量程)至0-20 slpm(满量程)。快速的控制响应可以大大改善真空镀膜最终产品质量,并且有助于消除靶中毒。集成式气动切断阀为常闭状态,可提供氦气泄漏率仅为1 x 10-9 atm-sccm/s的正向切断。

MCE系列质量流量控制器用于取代MKS传统型号1179A Mass-Flo?,而MCV系列质量流量控制器则用于取代MKS已停产的型号2179A Mass-Flo?的。艾里卡特质量流量控制器均采用12-30伏通用电源适配器供电。此外,艾里卡特质量流量控制器的通讯接口可与所有现有的9针或15针D-sub引脚相匹配,从而方便用户进行替换。艾里卡特质量流量控制器可被任意方向安装,甚至倒置,不需要进行再次校准,因此大大简化了安装过程。

预设了98种常用气体的MCE系列和MCV系列质量流量控制器内预设了98种可以测量质量流量、体积流量、以及绝对压力和温度,并自带温度和压力补偿功能。用户可通过质量流量控制器自带的显示屏接输入设定值,也可通过RS-232(或RS-485)串口通讯进行远程设定。

MCE系列和MCV系列质量流量控制器采用的艾里卡特专利的层流压差技术,具有NIST可溯源校准证书以及CE认证。


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